Analizadores de gases residuales (RGA)

La serie de analizadores de gases residuales RGA de Hiden permite una gran variedad de configuraciones del cuadrupolo, de la fuente de iones y del detector, para satisfacer cualquier aplicación. Desde el compacto HALO 100 con una presión parcial mínima de detección de 1 x 10-11mbar, hasta el modelo HAL201 con sistema de detección mediante multiplicador de electrones y doble detector Faraday/SEM, con una presión parcial mínima de detección de 5 x 10-14mbar. Todos los analizadores están calibrados con respecto a un gas estándar de calibración de referencia y un medidor estándar de ionización secundario.

En cualquiera aplicación, ya sea la verificación de fugas de rutina o análisis de gases en procesos de PVD y Implantación Iónica, como si son requerimientos de monitorización de contaminación en cámaras o identificación de fugas virtuales en MBE, (los analizadores de gases residuales de la serie RGA, de Hiden) ofrecen un equipo específicamente dedicado para cada una de las mencionadas aplicaciones.

Para el análisis de masas pesadas, nuestros equipos de la serie 3F ofrecen opciones de rango de masas de hasta 1000 a.m.u., un detector dual Faraday/analógico mediante multiplicador de electrones, y distintos ionizadores. La Serie 3F permite una buena transmisión de masas, una mejora en la resistencia de la contaminación, una larga estabilidad, y una alta sensibilidad.

 

Aplicaciones en Ultra Alto Vacío

 

    Los espectrómetros de masas tipo cuádruplo de triple filtro de la Serie 3F de Hiden incluye un detector basado en un contador pulsado de iones para el análisis de gases en aplicaciones científicas donde se requiera una respuesta muy rápida tales como, desgasificaciones en UHV, sistema EPIC para el análisis de radicales y tiempos de respuesta, y sistemas IDP para estudios de desorciones estimuladas por electrones/ fotones/laser, y análisis de masas de iones poco energéticos.

 

Análisis de Gases

 

    Sistemas basados con espectrómetro de masas y entrada de muestra dinámica para el análisis cuantitativo de gases en reacciones, control de proceso "on-line", análisis de pureza y medidas de composición. El modelo HPR-20 es un sistema montado encima de una bancada, sobre un carro o sistema tipo consola, para el análisis continuo de gases a presiones hasta presión atmosférica.

    Alta sensibilidad y estabilidad junto con un amplio rango dinámico hacen que el sistema HPR-20 sea el complemento ideal para los sistemas de laboratorio GC-MS

 

Caracterización de Plasmas

 

El sistema EQP de Hiden, un analizador de energía iónica de alta transmisión, es un espectrómetro de masas tipo cuadrupolo diseñado para realizar diagnósticos de plasma. El espectrómetro es capaz de adquirir espectros de masas, de energía y de voltaje proporcionando un detallado análisis de iones positivos, iones negativos, radicales y partículas neutras. Las gráficas de intensidad pueden representarse respecto al tiempo. Una rápida adquisición de datos permite estudiar procesos transitorios y luminiscentes. El EQP también se puede utilizar para el análisis de flujo iónico generado por fuentes iónicas y tubos de propagación. 

ESPION, fabricada por Hiden Analytical, es la sonda Langmuir más avanzada, precisa y fiable para el investigador de nuestros tiempos. La sonda ESPION ha sido desarrollada por un experimentado equipo de ingenieros y científicos con formación académica y fabricantes punteros de equipamiento para semiconductores. Ha sido diseñada para satisfacer las necesidades tanto de usuarios académicos como de industriales que requieran diagnósticos de plasmas rápidos, fiables y precisos. La evaluación independiente, que utiliza técnicas que incluyen la sonda de oscilación de plasma, medidas basadas en microondas, y el analizador de masa/ energía EQP de Hiden, asegura que las medidas de la sonda Langmuir suministran el mejor factor de confianza disponible.

 

 

Análisis de las Intercaras. SIMS

 

     Hiden fabrica los más avanzados espectrómetros para aplicaciones estáticas y dinámicas de la espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS); se pueden analizar iones con masas de hasta 1000 u.m.a. Este sistema utiliza una fuente integrada de iones por impacto de electrones que puede funcionar como un RGA convencional (análisis de gases residuales), como un detector de fugas, o como un espectrómetro de masas neutras secundarias (SNMS).

     El EQS emplea un filtro triple tipo cuadrupolo de alto rendimiento con un analizador de ángulo sólido de 45° que consta de una lente con entrada enfocable de tipo cuadrupolo DC. Los iones que pasan a través del instrumento tienen trayectorias curvas simples con prácticamente el 100% de transmisión dentro de la banda de paso. El EQS posee una gran capacidad para llevar a cabo el análisis de alta resolución de energía iónica. Las cuentas de iones (entre 1 y 2x107 cps) son generadas en un detector situado fuera del eje principal, que presenta un ruido de fondo bajo y alta sensibilidad.

    

 

Detección de Acabados en Aplicaciones de Semiconductores

 

Para la integración a gran escala (VLSI) de componentes y dispositivos microelectrónicos es esencial tener una máscara precisa y reproducible de semiconductores, materiales dieléctricos y metales. A medida que el tamaño de los dispositivos se hace más pequeño, la alta definición en las máscaras cobra más importancia.

Por lo tanto, es necesaria una detección adecuada del proceso de acabado, de forma que se optimicen los resultados. Los detectores de acabado de Hiden mantienen el control de profundidad de corte automatizado en el etching con haces iónicos, en el etching con haces de iones reactivos, y en las aplicaciones de RIE

 

 

Válvulas Múltiples PROTEUS

 

Hiden Analytical ofrece válvulas avanzadas de medida para utilizar con cualquier tipo de analizador de gas.

Se emplean para procesos y aplicaciones de seguimiento de atmósfera controlada donde un analizador central estudia simultáneamente diversas muestras independientes.

Las válvulas utilizan una disposición patentada auto compensadora con cierre hermético de alta integridad y larga duración para operaciones automatizadas realizadas frecuentemente.

Las válvulas se encuentran disponibles en versiones de 20 vías, 40 vías y 80 vías y son apropiadas para nuevas instalaciones o pueden incorporarse en el equipo analítico existente.